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特長(zhǎng)
·通過(guò)磁場(chǎng)輔助，可以產(chǎn)生比其他ICP方式低壓力、低電子溫度、高密度等離子體，從離子性蝕刻到自由基性蝕刻，可以進(jìn)行寬范圍的等離子體控制，因此可以對(duì)應(yīng)于作為開發(fā)tool的多用過(guò)程。
·搭載了防止RF投入窗的沉積物附著的“Star電極”。另外，具有加熱功能，重視再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的裝置概念。
·實(shí)現(xiàn)作為高可靠性輸送機(jī)器人、裝置構(gòu)造簡(jiǎn)單、維護(hù)簡(jiǎn)單等研究開發(fā)Tool的可靠性。
·還可以追加豐富的可選功能和暗盒室。
·面向批量生產(chǎn)線，推出了由同一個(gè)Chamber構(gòu)成的支持多個(gè)Chamber的NE-5700、NE-7700。
用途
·化合物材料（LED、LD、高頻器件和功率器件）。
·電極加工、金屬布線、有機(jī)膜、陶瓷等加工。
·用于加工鐵電體、貴金屬、磁性膜等難蝕刻材料。
·納米壓印、NEMS、MEMS、各種傳感器。
·生物芯片、微流體裝置、光子晶體等。
